《科创板日报》2日讯，存储大厂美光2021财年的资本支出将超过95亿美元，部分原因是其开始从ASML购买EUV设备。美光表示，计划从2024年开始，将EUV纳入DRAM开发路线图。另外，美光计划在今年年底安装ASML新一代EUV光刻机3600D。此前，三星、SK海力士已投入EUV DRAM。